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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺研究
杨旸, 魏昕, 谢小柱, 胡伟, 李成彬
2018, 42(2): 276-281. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.02.026
关键词: 激光技术, 激光刻蚀, 复合沟槽, 影响规律, 最大毛细压力, 微热管